时间: 2025-01-31 04:53:35 | 作者: 风道式气体电加热器
金融界9月13日音讯，有投入资金的人在互动渠道向珂玛科技发问：贵公司不断打破中高端产品技能瓶颈，推进国产代替进程。请问能否介绍一下贵公司在处理陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等产业链“卡脖子”产品研制和量产以及订单状况？祝福公司在国产代替的路途上高奏凯歌、一路长虹！
公司答复表明：公司陶瓷加热器已有多款类型安装于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等，安装于刻蚀机的8寸类型静电卡盘也现已量产。公司将加强完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品，并要点研制打破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件，加快推进市场化使用。
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