时间: 2025-08-11 03:28:33 | 作者: 风道式气体电加热器
同花顺300033）金融研究中心07月09日讯，有投资者向珂玛科技301611）发问， 陶瓷加热器应用于 CVD 设备时， 温度均匀性（1℃）、寿数（≥1 万小时） 是不是满意中芯世界、长江存储的先进制程（14nm 以下）需求？
公司答复表明，敬重的投资者您好！到现在，公司多款6寸/8寸/12寸“功用-结构”一体模块化产品陶瓷加热器已完结验证并投入批量生产，产品触及多种标准及功用，包含单/双/多区加热，有/无射频，线℃等，并安装于SACVD、PECVD、LPCVD、ALD和激光退火等设备。公司陶瓷加热器产品客户广泛，现已向多家国内干流半导体设备厂商及半导体晶圆厂商进行量产供给。感谢您的重视！
